電子無塵凈化車間降低污染和交叉污染的危險,為產(chǎn)品生產(chǎn)和操作人員提供一個適宜的內(nèi)部環(huán)境。潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
電子無塵凈化車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
電子無塵凈化車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。